[发明专利]感放射线性组合物用低泡沫显影液

摘要

本发明涉及含有下述成分的感放射线性组合物用显影液，所述成分为化学式1表示的非离子性表面活性剂、化学式2表示的非离子性表面活性剂、化学式3表示的非离子性表面活性剂、碱性化合物以及水。本发明的感放射线性组合物用显影液同时具有对滤色片光致抗蚀剂、黑底、间隙材料等感放射线性组合物的良好的显影性和图案重现性，能消除在喷雾等步骤中产生的泡沫在显影时的影响，具有低泡沫性且显影能力出色。

主权项

1、感放射线性组合物用低泡沫显影液，其中，下述化学式1表示的非离子性表面活性剂占5重量％～20重量％，下述化学式2表示的非离子性表面活性剂占1重量％～20重量％，下述化学式3表示的非离子性表面活性剂占0.5重量％～5重量％，碱性化合物占1重量％～10重量％，余量为水；化学式1所述化学式1中，n是1～3的整数、AO是选自由氧化亚乙基、氧化亚丙基以及聚氧乙烯-聚氧丙烯嵌段共聚物组成的组中的至少一种，m是5～30的整数；化学式2：所述化学式2中，EO是氧化亚乙基、PO是氧化亚丙基、各个x和y是选自由满足x+y＝4～25的整数组成的组中的整数；化学式3所述化学式3中，AO是选自由氧化亚乙基、氧化亚丙基以及聚氧乙烯聚氧丙烯嵌段共聚物组成的组中的至少一种，n是1～40整数。