[发明专利]一种柔性触觉传感器

摘要

本发明公开了一种柔性触觉传感器，包括传感器上的压敏电阻(11)和与其电连接的处理电路(8)，柔性触觉传感器由起支撑作用的弹性基底(7)、三维力敏感阵列(12)及柔性填充材料(5)、柔性电路板(2)和起保护作用的弹性保护层(1)组成，成为一个结构紧密的三维力传感部件。弹性基底(7)、柔性填充材料(5)和弹性保护层(1)均由树脂材料制成以实现柔性要求。弹性应变膜(10)上分布的压敏电阻(11)，分别对X、Y、Z三个方向的力Fx、Fy、Fz敏感；三维力敏感阵列(12)采用单晶硅材料通过MEMS工艺技术制作而成。该柔性触觉传感器能够可靠地粘附在各种曲面上，实现对三维力的检测，广泛地用于机器人技术。

主权项

1、一种柔性触觉传感器，包括传感器上的压敏电阻和与其电连接的信号处理电路(8)，其特征在于：所说传感器为呈三只以上的置于弹性基底(7)与弹性保护层(1)之间的三维力传感器(4)形成的三维力敏感阵列(12)，所说三维力传感器(4)为方框状的底座(11)上覆有薄膜(9)，所说薄膜(9)的中部置有传力柱(3)，所说底座(11)四边缘的薄膜(9)上分别置有压敏电阻(Fx1，Fx2，Fy1，Fy2)，其中，压敏电阻(Fx1，Fx2)与压敏电阻(Fy1，Fy2)间互呈90度设置，所说压敏电阻(Fx1，Fx2)旁置有压敏电阻(Fz1，Fz4)，所说传力柱(3)旁的薄膜(9)上置有压敏电阻(Fz2，Fz3)，所说压敏电阻(Fz1，Fz2，Fz3，Fz4)与所说压敏电阻(Fx1，Fx2)平行设置，所说传力柱(3)与弹性保护层(1)接触，所说底座(11)与弹性基底(7)相连接。