[发明专利]一种六氟化硫(SF6)气体检测方法无效
| 申请号： | 200410103239.8 | 申请日： | 2004-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN1664563A | 公开（公告）日： | 2005-09-07 |
| 发明（设计）人： | 姚永帮;孙洪涛 | 申请（专利权）人： | 合肥东能光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/35 | 分类号： | G01N21/35;G01M3/04 |
| 代理公司： | 安徽合肥大夏专利事务所 | 代理人： | 季晟 |
| 地址： | 230001安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种六氟化硫气体的检测方法，确切地说是一种灵敏度较高的用红外光谱吸收法检测六氟化硫气体泄漏的方法，是通过红外光源用波段1700cm－1、1620cm－1、900cm－1和610cm－1，光谱带宽约为2μm的红外光照射SF6易泄漏点或样品池，在上述被测处的另一边设有光电探测器，通过所述光电探测器给出红外光谱强度的变化量，即可获得被测处SF6的含量状况。本发明的有益效果是：利用红外光谱吸收技术直接检测SF6气体泄漏，可以实现高灵敏度检测和分析，测量精度可高于百万分之一，检测分辨率达到0.1ppm量级，如果有特殊检测需要，通过设置相应的低损耗光学系统和高灵敏光电探测器，测量精度可进一步提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 六氟化硫 sf sub 气体 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.本发明涉及的一种六氟化硫气体的高灵敏度检测方法，其特征在于是通过红外光源(1)发出波段为1700cm-1、1620cm-1、900cm-1和610cm-1，光谱带宽约为2μm的红外光，照射SF6易泄漏点或样品池(2)，在上述被测处的另一边设有光电探测器(3)，通过所述光电探测器(3)给出红外光谱强度的变化量，即可获得被测处SF6的含量状况。
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