[发明专利]具有剪切构件的动态销和使用该动态销的衬底载体无效
| 申请号： | 200410103367.2 | 申请日： | 2004-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN1640797A | 公开（公告）日： | 2005-07-20 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·R·赖斯;埃里克·A·恩格尔哈德特;罗伯特·B·劳伦斯;马丁·R·埃里奥特;杰弗里·C·赫金斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07;H01L21/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 寇英杰 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种适于阻止衬底载体从动态销移出的动态销和一种衬底载体。动态销上的剪切构件与衬底载体的剪切构件相互作用以阻止衬底载体相对于动态销的横向运动。还提供了一种采用动态销的衬底载体处理装置。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 剪切 构件 动态 使用 衬底 载体 | ||
【主权项】：
1.一种用于支承衬底载体的动态销，包括：销体，该销体包括：倾斜表面，其适于与衬底载体的匹配结构的倾斜表面可滑动地连通，并适于使匹配结构位于动态销上并通过重力与动态销横向对准；和剪切构件，其适于阻止产生于衬底载体的横向惯性载荷促使衬底载体的匹配结构与动态销不对准。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料有限公司，未经应用材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410103367.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
