[发明专利]辐射热检测器、红外检测装置及制造该检测器的过程有效
| 申请号： | 200410103859.1 | 申请日： | 2004-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN1727856A | 公开（公告）日： | 2006-02-01 |
| 发明（设计）人： | M·维兰 | 申请（专利权）人： | ULIS股份公司 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20;H01L27/146 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 傅康;王忠忠 |
| 地址： | 法国沃雷*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 该辐射热检测器包括：敏感部分，具有：一个或多个敏感材料层(6)，其电阻率随温度而变化；相互隔开的电极(5)，也作为红外辐射吸收器，所述电极与在其至少部分表面上的敏感材料接触；至少一个支持区域(3)，用于支持敏感部分，其定位所述敏感部分，并作为导电体，和与辐射热检测器相连的读取电路(1)进行连接；以及至少一个热绝缘结构，其电和机械连接每一个支持区域(3)至该敏感部分。没有接触到电极(5)的敏感材料区域，在垂直于包含辐射热检测器的敏感部分的平面方向上具有至少一个皱褶(9)。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射热 检测器 红外 检测 装置 制造 过程 | ||
【主权项】：
1.一种辐射热检测器，包括：敏感部分，具有：一个或多个敏感材料层(6)，其电阻率随温度而变化；相互隔开的电极(5)，作为红外辐射吸收器，所述电极与位于它们表面的至少一部分之上的敏感材料接触；至少一个支持区域(3)，用于支持敏感部分，该至少一个支持区域(3)定位所述敏感部分，并作为导电体，与辐射热检测器相连的读取电路(1)进行连接；以及至少一个热绝缘结构，电和机械地将每一个支持区域(3)连接至该敏感部分，其特征在于：没有接触到电极(5)的敏感材料区域，沿着垂直于包含辐射热检测器的敏感部分的平面方向上具有至少一个皱褶(9)；以及辐射热敏感材料包括无定形硅或SixGeyCz型的相关合金，其中x+y+z＝1。
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