[发明专利]具有Ir-Ru合金电极的铁电电容器和铁电存储器以及制造它们的方法无效
申请号: | 200410103884.X | 申请日: | 2004-11-20 |
公开(公告)号: | CN1728399A | 公开(公告)日: | 2006-02-01 |
发明(设计)人: | 申尚旻;金锡必;朴永洙;李正贤;具俊谟 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L29/00 | 分类号: | H01L29/00;H01L27/10;H01L21/28;H01L21/316;H01L21/82;H01G4/33;H01G4/008;H01G4/08 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 张平元;赵仁临 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 一种铁电电容器,其中包括:包含Ir和Ru合金的第一电极;设置在第一电极上的铁电层;以及设置在铁电层上的第二电极。一种铁电存储器,包括基底和基底上设置的多个存储器单元。每一存储器单元包括:含有Ir和Ru合金的第一电极;设置在第一电极上的铁电层;以及设置在铁电层上的第二电极。 | ||
搜索关键词: | 具有 ir ru 合金 电极 电容器 存储器 以及 制造 它们 方法 | ||
【主权项】:
1.一种铁电电容器,其中包括:含有Ir和Ru合金的第一电极;设置在第一电极上的铁电层;以及设置在铁电层上的第二电极。
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