[发明专利]工序和质量关系的模型生成装置及模型生成方法无效

专利信息
申请号: 200410104637.1 申请日: 2004-12-27
公开(公告)号: CN1655325A 公开(公告)日: 2005-08-17
发明(设计)人: 山田贤太郎;青山行宏;小川实;中村寿一;合川祯一 申请(专利权)人: 佳能系统集成有限公司;欧姆龙株式会社
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02;H01L21/66;G05B23/02;G05B19/418;G06F17/60
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 马莹;邵亚丽
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 提供一种装置和方法,根据可与工序的状态相关取得、通过有关与质量的关联的预测而未被收入的多种信息,能够生成用于预测对象品的质量的模型。模型生成装置(10)输入在构成工序的各工序步骤执行期间中时序方式取得的、作为与工序状态相关联信息的工序状态信息和有关该工序中被处理的对象品的检查结果信息,生成用于表示从工序状态信息中提取的工序特征量和检查结果信息的关系的工序-质量模型。特征量提取部(10b)对每个对象品和每个工序步骤提取特征量。解析部(10e)使用根据相关单位对象品的通用关系而形成对应的工序特征量和检查结果信息,通过执行基于数据挖掘的解析,从而生成工序-质量模型。
搜索关键词: 工序 质量 关系 模型 生成 装置 方法
【主权项】:
1.一种模型生成装置,输入在构成工序的各工序步骤执行期间中时序方式取得的、作为与工序状态相关联的信息的工序状态信息和有关该工序中被处理的对象品的检查结果信息,并生成用于表示从工序状态信息中提取的工序特征量和检查结果信息的关系的工序-质量模型,所述模型生成装置包括:第一输入部,输入工序状态信息;第二输入部,输入检查结果信息;特征量提取部件,对每个对象品或对象品组(以下,称为单位对象品)及对每个工序步骤,从工序状态信息中提取工序特征量;以及解析部件,使用因相关单位对象品的通用关系而形成对应的工序特征量和检查结果信息,执行基于数据挖掘的解析,从而生成用于表示工序特征量和检查结果信息的关系的工序-质量模型。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能系统集成有限公司;欧姆龙株式会社,未经佳能系统集成有限公司;欧姆龙株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200410104637.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top