[发明专利]工序和质量关系的模型生成装置及模型生成方法无效
申请号: | 200410104637.1 | 申请日: | 2004-12-27 |
公开(公告)号: | CN1655325A | 公开(公告)日: | 2005-08-17 |
发明(设计)人: | 山田贤太郎;青山行宏;小川实;中村寿一;合川祯一 | 申请(专利权)人: | 佳能系统集成有限公司;欧姆龙株式会社 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H01L21/66;G05B23/02;G05B19/418;G06F17/60 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 马莹;邵亚丽 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供一种装置和方法,根据可与工序的状态相关取得、通过有关与质量的关联的预测而未被收入的多种信息,能够生成用于预测对象品的质量的模型。模型生成装置(10)输入在构成工序的各工序步骤执行期间中时序方式取得的、作为与工序状态相关联信息的工序状态信息和有关该工序中被处理的对象品的检查结果信息,生成用于表示从工序状态信息中提取的工序特征量和检查结果信息的关系的工序-质量模型。特征量提取部(10b)对每个对象品和每个工序步骤提取特征量。解析部(10e)使用根据相关单位对象品的通用关系而形成对应的工序特征量和检查结果信息,通过执行基于数据挖掘的解析,从而生成工序-质量模型。 | ||
搜索关键词: | 工序 质量 关系 模型 生成 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种模型生成装置,输入在构成工序的各工序步骤执行期间中时序方式取得的、作为与工序状态相关联的信息的工序状态信息和有关该工序中被处理的对象品的检查结果信息,并生成用于表示从工序状态信息中提取的工序特征量和检查结果信息的关系的工序-质量模型,所述模型生成装置包括:第一输入部,输入工序状态信息;第二输入部,输入检查结果信息;特征量提取部件,对每个对象品或对象品组(以下,称为单位对象品)及对每个工序步骤,从工序状态信息中提取工序特征量;以及解析部件,使用因相关单位对象品的通用关系而形成对应的工序特征量和检查结果信息,执行基于数据挖掘的解析,从而生成用于表示工序特征量和检查结果信息的关系的工序-质量模型。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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