[发明专利]光信息记录介质原盘和模的制造方法，原盘和模及介质

摘要

本发明的目的是提供一种制造光信息记录介质的原盘的方法；制造光信息记录介质的模子的方法；光信息记录介质的原盘和模子；和光信息记录介质，其中当在模子的一侧上录制预定图案的凹坑和/或槽时，通过减少无机材料的状态改变，使凹坑和/或槽的图案保持高质量的形状，即使使用无机材料作为抗蚀剂。一种制造在光信息记录介质的模子上录制预定图案的凹坑和/或槽的光信息记录介质的原盘106的方法，包括在基板101上形成包括第一无机材料的抗蚀剂102，第一无机材料的状态而曝光而改变，通过曝光和显影在抗蚀剂102上形成凹坑和/或槽的图案，和在凹坑和/或槽的图案上形成无机隔离层107。

主权项

1.一种制造光信息记录介质的原盘的方法，用于在光信息记录介质的模子上录制预定的图案凹坑或槽，包括步骤：在基板上形成包括第一无机材料的抗蚀剂，其中该材料的状态随曝光而改变；通过曝光和显影在抗蚀剂上形成凹坑或槽的图案；和在凹坑或槽的图案上形成隔离层。