[实用新型]绝缘加热导线无效
| 申请号： | 200420002625.3 | 申请日： | 2004-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN2691131Y | 公开（公告）日： | 2005-04-06 |
| 发明（设计）人： | 杨玮芳 | 申请（专利权）人： | 鑫邦国际科技有限公司 |
| 主分类号： | H02G15/00 | 分类号： | H02G15/00 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孙皓晨;贺华廉 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型是一种绝缘加热导线，由一绞线上套置有数个陶瓷保护粒而成，且该绞线的两端各设有接头；其特征在于其中一接头水平固定于上述绞线的一端，另一接头则呈75至120度的角度弯折而固定于绞线的另端。本实用新型适用于半导体产业的晶片制造设备中电浆辅助化学气相沉积系统(Plasma Enhancement Chemical Vapor Deposition；PECVD)上，供电源的传导。 | ||
| 搜索关键词： | 绝缘 加热 导线 | ||
【主权项】：
1、一种绝缘加热导线，由一绞线上套置有数个陶瓷保护粒而成，且该绞线的两端各设有接头；其特征在于：其中一接头水平固定于上述绞线的一端，另一接头则呈75至120度的角度弯折而固定于绞线的另端。
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