[实用新型]常压低温冷等离子体放电通道装置

摘要

本实用新型公开一种常压低温冷等离子体放电通道装置，包括高压电源，供气源，和长方体形状的放电通道主体，其包括位于顶面且在中部设置有通孔的第一电极，位于底面与第一电极平行相对的第二电极，其内表面上设置有绝缘材料层；及两个长条形绝缘体，它们与两个电极一起围成一个横截面为长方形的直放电通道，通孔与放电通道相连通，第一电极位于放电通道内的下表面沿放电通道纵向的截面为锯齿状，一个电极与高压电源相连而另一个接地，供气源通过导管与通孔相连，放电通道内的放电是在常压下进行的。本实用新型能在大气压下产生稳定放电的冷等离子体，进而对穿过放电通道的物体进行表面改性、表面清洗、表面消毒和薄膜沉积等。

主权项

1、一种常压低温冷等离子体放电通道装置，包括高压电源，供气源，和长方体形状的放电通道主体，其特征在于，所述放电通道主体包括：平板状的第一电极，所述第一电极由金属材料制成并位于放电通道主体的顶面，且在所述第一电极的中部设置有通气孔，第二电极，所述第二电极由金属材料制成并位于放电通道主体的底面，且所述第二电极与第一电极相对且相互平行；及两个长条形绝缘体，它们相互平行地分别设置在放电通道主体的两侧将第一电极和第二电极相互绝缘，并且与第一电极和第二电极一起围成一个横截面为长方形的直放电通道，其中所述第一电极上的通孔与所述长方形的直放电通道相连通，所述第一电极位于放电通道内的下表面沿放电通道纵向的截面为锯齿状，所述第二电极位于放电通道内的上表面上设置有绝缘材料层，第一电极和第二电极其中之一通过耐高压线与所述高压电源相连，而其中的另一个电极接地，所述供气源通过导管和第一电极上的通孔与放电通道相连通。