[实用新型]一种MEMS的微型压电驱动器

摘要

本实用新型公开了属于微电子机械领域的能产生大垂直位移的一种MEMS的微型压电驱动器。在悬浮弹性梁的两端或中间经短横梁连接，相对于对称轴X形成对称并列级联悬梁结构的驱动器，驱动器两外侧的悬梁中部通过连接衬底的短横梁与衬底相连形成固定端，并列级联的悬梁的数目可以为等于或大于3的整数。每条悬浮弹性梁上的多层膜复合压电单元以对称轴Y对称分布，形成多级递进、增加压电驱动位移的大垂直位移压电驱动器。本实用新型可减少微电机械系统中驱动结构的长度，降低驱动电压，具有较大的驱动力。其结构简单，器件可靠性高，工艺简单，易加工，较高的制造成品率，适合批量生产。

主权项

1.一种MEMS的微型压电驱动器，其特征在于：在悬浮弹性梁(1)的两端或中间经短横梁(3)连接，相对于对称轴X形成对称并列级联悬梁结构的驱动器；对称轴X两侧结构相同，驱动器两外侧的悬梁中部通过衬底连接短横梁(4)与衬底相连形成固定端；在每个悬梁上，以长度方向的中心垂直平分线Y为对称轴，对称地分段沉积压多层膜复合压电单元(2)，每段多层膜复合压电单元(2)与下面的悬浮弹性梁(1)形成利用压电效应的驱动单元；每条悬浮弹性梁(1)上的多层膜复合压电单元(2)以对称轴Y对称分布，并且每一侧的多层膜复合压电单元(2)可为2、4、6或8个，在整个驱动结构中，在对称轴X两侧的悬浮弹性梁(1)上以对称方式施加电压，在对称轴X每一侧，每个悬浮弹性梁(1)与同一侧邻近悬浮弹性梁(1)相同位置的多层膜复合压电单元的上、下电极施加相反极性电压；在对称轴Y每一侧的每一个多层膜复合压电单元的上、下电极层与其同一侧邻近多层膜复合压电单元的上、下电极施加相反极性电压；同时，在对称轴Y两侧最邻近的两个多层膜复合压电单元上、下电极施加相同极性的电压。