[实用新型]微型射流角速率传感器

摘要

本实用新型公开了一种微型射流角速率传感器，包括有底座、盖体、两热敏电阻、谐振驱动器和检测热敏电阻用的检测电路，底座和薄膜盖之间形成空腔，空腔被分为振动腔、检测腔、两个对称的微型射流泵、集流腔和尾气腔，振动腔的气体出口即为微型射流泵的气体入口，微型射流泵与集流腔相连，集流腔与检测腔相通，检测腔的气体通过尾气腔流回振动腔；两热敏电阻对称固定在底座上，并接入检测电路中；振动腔部分的盖体为薄膜层，谐振驱动器固定在薄膜盖层。本实用新型的玻璃片和硅片能够采用MEMS(Micro－Electro－Machanical－System，微机电系统)工艺来制作，具有微型化、可批量生产、成本低、结构简单、无可动部件、易于与驱动以及信号检测电路实现单片集成等优点。

主权项

1、一种微型射流角速率传感器，其特征在于，该测量仪包括有底座、盖体、两热敏电阻、谐振驱动器和检测所述热敏电阻用的检测电路，所述底座和薄膜盖之间形成空腔，所述空腔被分为振动腔、检测腔、两个对称的微型射流泵、集流腔和尾气腔，所述振动腔的气体出口即为所述射流腔的气体入口，所述射流腔与所述集流腔相连，所述集流腔与所述检测腔相通，所述检测腔的气体通过所述尾气腔流回所述振动腔；所述两热敏电阻对称固定在所述底座上，并接入所述检测电路中；所述振动腔部分的盖体为薄膜层，所述谐振驱动器固定在所述薄膜盖层。