[实用新型]一种金属薄膜磁电阻式车辆检测器

摘要

本实用新型提供了一种金属薄膜磁电阻式车辆检测器，由金属薄膜磁电阻磁场传感器元件(3)、信号处理电路(4)、填充材料(2)和外壳(1)四部分组成。磁场传感器元件(3)采用金属薄膜磁电阻探头，车辆检测器的填充材料(2)为石蜡或环氧树脂；根据产品设计要求，磁性金属合金薄膜层被光刻成的具有1微米－200微米宽度的金属薄膜磁电阻条(8)，并在金属薄膜磁电阻条上光刻上与磁电阻条成45°角的金属电极(7)，光刻后的金属电极还将磁电阻条连接成电桥电路并将输入输出端引出；电桥的每个桥臂由1－100个金属薄膜磁电阻条(8)组成，并由金属电极串联起来。其优点在于：体积小、灵敏度高、使用寿命长、成本低，使用时埋设和更换方便，便于推广。

主权项

1.一种金属薄膜磁电阻车辆检测器，其特征在于：由金属薄膜磁电阻磁场传感器元件(3)、信号处理电路(4)、填充材料(2)和外壳(1)四部分组成；磁场传感器元件(3)采用金属薄膜磁电阻探头，它由基片层、在基片上溅射生成的磁性金属合金薄膜层，以及金属电极层组成；车辆检测器的填充材料(2)为石蜡或环氧树脂；根据产品设计要求，磁性金属合金薄膜层被光刻成的具有1微米-200微米宽度的金属薄膜磁电阻条(8)，并在金属薄膜磁电阻条上光刻上与磁电阻条成45°角的金属电极(7)，光刻后的金属电极还将磁阻条连接成电桥电路并将输入输出端引出；电桥的每个桥臂由1-100个金属薄膜磁电阻条(8)组成，并由金属电极串联起来。