[实用新型]蒸镀设备

摘要

一种蒸镀设备，具有利用一开关控制相通与否的第一真空室与第二真空室，于该第一真空室中设置有一可供定量收容蒸镀源的喂料装置及一可将蒸镀源往第二真空室递送的导料机构，于该第二真空室中则设置有可收容来自该导料机构的蒸镀源并予以加热以使蒸镀源气化的加热装置，在该开关阻隔第一真空室与第二真空室相通的情形下，位于该第一真空室中的喂料装置可进行新添蒸镀源作业，该第二真空室中的加热装置则可不受影响地继续进行蒸镀作业。

主权项

1.一种蒸镀设备，其特征在于，包含有：一真空是统，具有相连通的一第一真空室与一第二真空室，以及一开关是做为控制该第一真空室与该第二真空室相通与否使用；一设置于该第一真空室中的喂料装置，该喂料装置具有一供收纳蒸镀源的储料容器及一导料机构，该导料机构在该第一真空室与该第二真空室相通时，可将蒸镀源往该第二真空室递送；至少一设置于该第二真空室中的加热装置，该加热装置适于收容来自该喂料装置的蒸镀源并予以加热以使蒸镀源气化。