[实用新型]溅射式镀膜机用靶材结构无效
| 申请号： | 200420011041.2 | 申请日： | 2004-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN2732756Y | 公开（公告）日： | 2005-10-12 |
| 发明（设计）人： | 张向东 | 申请（专利权）人： | 河南中光学集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 郑州联科专利事务所 | 代理人： | 时立新 |
| 地址： | 473000河南省南阳市*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型属于光学镀膜技术领域，是一种溅射式镀膜机用靶材结构。其主要特点是：靶材是由镀膜材料层和电极背板组合构成，其中，镀膜材料层采用条板状的成型镀膜块，电极背板为板块式，并与镀膜块粘合连接，构成一种组合体的块状板式靶材结构。使用该靶材，具有更换方便、镀制膜层均匀、效率高等优点，并可用于加工高精度产品。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 镀膜 机用靶材 结构 | ||
【主权项】：
1、一种溅射式镀膜机用靶材结构，其特征在于：是由镀膜材料层[1]和电极背板[2]组合构成，镀膜材料层[1]和电极背板[2]之间采用粘合连接。
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