[实用新型]一种脊型波导偏振无关半导体光放大器

摘要

本实用新型公开了一种脊型波导偏振无关半导体光放大器，依次包括InP衬底、n型InP缓冲层、无源波导层、有源区、脊型波导，其顶层和低层设有电极，其特征在于：在无源波导层与有源区之间设有第二级宽脊波导，所述脊型波导为侧向锥形结构，与第二级宽脊波导共同使光束远场与光纤远场匹配。上述脊型波导分为三部分，脊宽分两级侧向减小。本实用新型不仅具有工艺简单可靠，器件成品率高的特点，而且其偏振灵敏度低，远场特性好，可得到近似圆形的远场光斑，与波导或光纤具有极高的耦合效率和耦合对准容差。本实用新型可以广泛应用于光网络、光子集成和光电子集成。

主权项

1、一种脊型波导偏振无关半导体光放大器，依次包括InP衬底、n型InP缓冲层、无源波导层、有源区、脊型波导，其顶层和低层设有电极，其特征在于：在无源波导层(3)与有源区(5)之间设有第二级宽脊波导(4)，所述脊型波导(6)为侧向锥形结构，与第二级宽脊波导(4)共同使光束远场与光纤远场匹配。