[实用新型]改良的微波等离子产生器无效
申请号: | 200420020822.8 | 申请日: | 2004-03-03 |
公开(公告)号: | CN2684523Y | 公开(公告)日: | 2005-03-09 |
发明(设计)人: | 吴正明 | 申请(专利权)人: | 吴正明 |
主分类号: | H05H1/24 | 分类号: | H05H1/24 |
代理公司: | 上海开祺专利代理有限公司 | 代理人: | 黄志达 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本实用新型是一种改良的微波等离子产生器,主要是于一缓冲室的一侧及底部分设有一导波管及一反应容器,缓冲室内设有一杆型天线,其一端穿透至导波管内,以导引微波至缓冲室内,又缓冲室与反应容器是相互连通,其间分设有一上具多个小天线的蜂巢板及一微波通过板。该杆型天线的另端接地,使缓冲室内的电磁波分布固定,故经调整杆型天线与小天线的长度后,即可轻易达到所须的大面积且均匀的等离子分布。 | ||
搜索关键词: | 改良 微波 等离子 产生器 | ||
【主权项】:
1.一种改良的微波等离子产生器,包括有一缓冲室,是形成于一金属罩壳内,其内部一端设有一可进退的活动屏;一导波管,是设于前述金属罩壳的一侧;一反应容器,是通过一上设多个小天线的蜂巢板及一微波通过板与缓冲室相互连通,该反应容器内部设有一承载台,供放置待处理的物体;一杆型天线,穿置于金属罩壳相邻于导波管的一侧壁上,其一端是穿透至导波管内,其特征在于:杆型天线的另一端则予接地。
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