[实用新型]仿蜂巢结构分形微管道网络换热器

摘要

本实用新型涉及一种仿蜂巢结构分形微管道网络换热器。包括硅衬底，盖板，绝热玻璃盖板上设工质入口、工质出口、温度传感器接口，压力传感器接口，其特征在于：硅衬底上设有仿生分形微管道网络，微管道网络两端分别设有工质入口蓄液槽、出口蓄液槽，仿生分形微管道网络为仿蜂巢结构分形微管道网络，微管道均匀分布，盖板为绝热玻璃盖板。本实用新型与现有技术相比，其显著优点是：结构紧凑，可直接刻蚀在硅芯片的背部，二维平面结构便于电子器件引脚布置和整体封装，采用相变换热，具有更高的换热能力，而只需较小的泵送功率，也可用于燃料电池极板等相关的微流体网络结构设计。

主权项

1、一种仿蜂巢结构分形微管道网络换热器，包括硅衬底[1]，盖板[3]，绝热玻璃盖板上设工质入口[5]、工质出口[8]、温度传感器接口[4、9]，压力传感器接口[6、7]，其特征在于：硅衬底[1]上设有仿生分形微管道网络[12]，微管道网络两端分别设有工质入口蓄液槽[2]、出口蓄液槽[11]。