[实用新型]直流光强主动抗振移相干涉仪

摘要

本实用新型涉及一种直流光强主动抗振移相干涉仪。包括激光器、扩束系统、第一、第二、第三分光器、标准参考镜、测试件、聚焦对点系统、电子摄像头、变焦变倍成像系统、成象CCD，第一分光器干涉场出射方向上设置第二分光器，第二分光器将干涉场分成两部分，一部分被单点光电探测器接收，另一部分进入成像系统；光电探测器与反馈信号发生器、反馈信号发生器与PZT控制器、PZT控制器与PZT移相器连接；PZT移相器与标准参考镜连接；计算机与成象CCD、摄像头、反馈信号发生器相连。本实用新型控制PZT移相器对光波波前相位进行实时反馈补偿，可获得稳定的干涉图样，改变波前相位预设值可实现移相测量，仪器处于闭环工作状态。

主权项

1、一种直流光强主动抗振移相干涉仪，包括激光器[1]、扩束系统[2]、第一分光器[3]、第二分光器[17]、第三分光器[14]、标准参考镜[4]、测试件[6]、聚焦对点系统[13]、CMOS电子摄像头[12]、变焦变倍成像系统[15]、成象CCD[16]，激光器[1]发出的窄细激光束经扩束系统[2]成为有一定口径的平行光束，平行光束进入第一分光器[3]，一部分直透至测试件[6]，一部分反射至标准参考镜[4]，从测试件[6]返回的光束被第一分光器[3]反射，从标准参考镜[4]返回的光束透过第一分光器[3]，这两束光相互干涉形成干涉场，其特征在于：在第一分光器[3]的干涉场出射方向上设置第二分光器[17]，第二分光器[17]将干涉场分成两部分，一部分被单点光电探测器[11]接收，另一部分进入成像系统；光电探测器[11]设置于涉场中任意一点，其光敏面正对干涉场；光电探测器[11]与反馈信号发生器[9]、反馈信号发生器[9]与PZT控制器[7]、PZT控制器[7]与PZT移相器[5]均用导线相连接；PZT移相器[5]与标准参考镜[4]连接；进入成像系统的干涉场被第三分光器[14]分成两部分，一部分进入由聚焦对点系统[13]和CMOS电子摄像头[12]组成的对点成象系统，另一部分进入由变焦变倍成象系统[15]和成象CCD[16]组成的干涉图成象系统；计算机[10]与成象CCD[16]、CMOS摄像头[12]、反馈信号发生器[9]用导线相连。