[实用新型]滚落式双阴极平面磁控溅射金属膜电阻镀膜装置无效

专利信息
申请号: 200420030417.4 申请日: 2004-02-17
公开(公告)号: CN2682087Y 公开(公告)日: 2005-03-02
发明(设计)人: 杨金波;杨晏祺 申请(专利权)人: 杨金波
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35
代理公司: 锦州辽西专利事务所 代理人: 李辉
地址: 121000辽宁省锦州*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 一种滚落式双阴极平面磁控溅射金属膜电阻镀膜电阻装置,包括主溅射室、密封门、滚筒式电阻基体传动送料装置和高真空抽气引出管,在电阻基体传动送料装置内壁上设有送料叶片,在电阻基体传动送料装置端部设有挡圈,在主溅射室内侧上方斜置有双阴极平面磁控溅射靶和屏蔽板,在主溅射室内对应双阴极平面磁控溅射靶的下方通过支撑杆斜置有电阻基体滚落槽,双阴极平面磁控溅射靶、屏蔽板和电阻基体滚落槽与主溅射室之间绝缘,在主溅射室内还设有电阻基体装料斗,在电阻基体装料斗出料口上设有出料调整活动门。优点是电阻基体连续滚落时无摩擦,无粉状物、电阻基体温升可调、镀膜质量好、镀膜工艺灵活、可改善薄膜的电气性能,镀膜时间短、节能。
搜索关键词: 滚落 阴极 平面 磁控溅射 金属膜 电阻 镀膜 装置
【主权项】:
1.一种滚落式双阴极平面磁控溅射金属膜电阻镀膜电阻装置,包括一个主溅射室,所说的主溅射室上设有密封门,在主溅射室内设有滚筒式电阻基体传动送料装置,在主溅射室侧壁上设有高真空抽气引出管,其特征在于:在电阻基体传动送料装置内壁上设有若干个斜置的送料叶片,在电阻基体传动送料装置端部对应送料叶片边缘处设有挡圈,在主溅射室内侧上方斜置有双阴极平面磁控溅射靶,在双阴极平面磁控溅射靶之间设有屏蔽板,所说的双阴极平面磁控溅射靶、屏蔽板与主溅射室之间绝缘,在主溅射室内对应双阴极平面磁控溅射靶的下方通过支撑杆斜置有电阻基体滚落槽,所说的电阻基体滚落槽与主溅射室之间绝缘,在主溅射室内对应电阻基体滚落槽侧上方还设有电阻基体装料斗,在电阻基体装料斗出料口上设有出料调整活动门。
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