[实用新型]一种微波等离子光源

摘要

一种微波等离子光源，由变频电源供电而产生微波的磁控管，与磁控管相连的一段喇叭形波导，连接波导的金属屏蔽网和无极灯泡等组成。微波的耦合、传输、激励放电仅仅是一段喇叭形波导，两块电感性调谐器固定在喇叭形波导两侧，在调谐器上安有介质云母片和反射镜。所述的波导，一端与磁控管相连，且端面短路，而另一端开口，并带有与金属屏蔽网相连的法兰盘，波导的短路面处的横截面为矩形，从短路面处开始呈E面扇形喇叭状，又呈H面扇形喇叭状延伸，终端的横截面为正方形。

主权项

1、一种微波等离子光源，其主体结构包括产生微波的磁控管(2)，与磁控管(2)相连的波导(3)，波导(3)开口端设有法兰盘(7)，法兰盘(7)上固定有金属屏蔽网(5)，无极灯泡(1)置于由波导(3)、法兰盘(7)和金属屏蔽网(5)所组成的微波腔中，且波导(3)与磁控管(2)相连的端面短路，其特征是所述波导(3)为喇叭形波导(3)。