[实用新型]整体式超净光学平台无效
| 申请号： | 200420033860.7 | 申请日： | 2004-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN2722234Y | 公开（公告）日： | 2005-08-31 |
| 发明（设计）人： | 周海 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01N21/00 | 分类号： | G01N21/00 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 | 代理人： | 韩志英 |
| 地址： | 621900四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种整体式超净光学平台，其特点是洁净层流罩与通用光学台面直接连机成为一体式洁净工作平台。本实用新型在洁净层罩顶部设置有数个高效过滤器，在高效过滤器中的高效风机与通用光学平台间设置有三道减震器，整体结构更为紧凑，光学平台稳定性能好，且提高了工作环境的洁净度。 | ||
| 搜索关键词： | 整体 式超净 光学 平台 | ||
【主权项】：
1.一种整体式超净光学平台，含有光学平台和洁净层流罩，其特征在于：在洁净层流罩的顶板部分设置5个高效过滤器，高效过滤器框体内依次设置有预过滤器(1)、风机(2)、风机支架(5)、过滤层(3)，风机支架(5)固定设置在高效过滤器框体内，风机(2)和风机支架(5)之间设置有减震器I(4)；高效过滤器和洁净层流罩的外罩(7)之间设置有减震器II(6)，高效过滤器通过设置在洁净层流罩上的减震器II(6)与洁净层流罩连接；外罩(7)和光学平台之间设置有减震器III(8)，洁净层流罩的外罩(7)通过设置在光学平台的减震器III(8)与光学平台固定连接。
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