[实用新型]化学辅助离子束刻蚀系统样品台无效
| 申请号： | 200420035042.0 | 申请日： | 2004-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN2677386Y | 公开（公告）日： | 2005-02-09 |
| 发明（设计）人： | 单能飞;陈晓东;何小锋;赵李健 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科学技术大学 |
| 主分类号： | C23F1/00 | 分类号： | C23F1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 410073湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种在真空室外加热和测温并可调节高度的化学辅助离子束刻蚀系统样品台。它是在台面下面接上波纹管和支撑杆，波纹管另一端通过圆环柱接在法兰上，法兰通过管壁与真空室底端法兰相连，使加热和测温部分与真空室隔离，便于在大气中进行操作，支撑杆通过一固定件伸出来，下端有螺纹，旋上螺母可调节台面高度。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 辅助 离子束 刻蚀 系统 样品 | ||
【主权项】：
1.一种化学辅助离子束刻蚀样品台由台面、支撑杆、波纹管、法兰、固定件、加热和测温装置构成，其特征在于：样品台的一侧置于真空室中，另一侧置于大气中。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国人民解放军国防科学技术大学，未经中国人民解放军国防科学技术大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200420035042.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：内六角螺丝钉防盗固定栓
- 下一篇：具有回旋式流道的散热装置
