[实用新型]光滑表面疵病的自动化检测系统

摘要

本实用新型公开了一种光滑表面疵病的自动化检测系统。依次具有光学显微变焦系统、光源、扫描工作台以及图像采集与数据处理系统，光学显微变焦系统依次具有CCD、可变焦的显微放大系统，光源依次具有白炽灯光源、多方位角排布的光纤、柯拉照明头、光纤角度可调架，扫描工作台依次具有子孔径扫描的X、Y工作台驱动电路，X、Y方向扫描的电机、X、Y扫描工作台、在扫描工作台内即被检面的下部设有暗背景，图像采集与数据处理系统具有监控器、图像采集系统、计算机、计算机数字化模式处理系统。本实用新型采用了客观的数字化评价系统，对疵病检测的准确度远远高于目视的主观观察；采用了自动化的扫描及数据处理方法，被测件为大口径时，大大提高了检测的工作效率。

主权项

1、一种光滑表面疵病的自动化检测系统，其特征在于：它依次具有光学显微变焦系统、光源、扫描工作台以及图像采集与数据处理系统，光学显微变焦系统依次具有CCD(1)、可变焦光学显微放大系统(2)，光源依次具有白炽灯光源(8)、多方位角排布的光纤(9)、柯拉照明头(5)、光纤角度可调架(3)，扫描工作台依次具有子孔径扫描的X、Y工作台驱动电路(14)、(15)，X、Y方向扫描的电机(16)、(17)、X、Y扫描工作台(18)、位于扫描工作台上的被检面(6)及下部设有的暗背景(7)，图像采集与数据处理系统具有监控器(11)、图像采集系统(10)、计算机(12)、计算机疵病的数字化模式处理系统(13)。