[实用新型]光学镀膜装置无效
| 申请号： | 200420046777.3 | 申请日： | 2004-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN2706477Y | 公开（公告）日： | 2005-06-29 |
| 发明（设计）人： | 林志泉 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种光学镀膜装置，其包括镀膜室、承载架、旋转马达及蒸镀源，该光学镀膜装置进一步包括挡流板，该挡流板可旋转地设置于承载架与蒸镀源之间，且挡流板的转速可调节。本实用新型的光学镀膜装置利用旋转式挡流机制，该光学镀膜装置的挡流板旋转速率可控制，可通过变化挡流板的转动速率，来改变其等效几何形状。本实用新型的光学镀膜装置由于不需要直接修正挡流板的几何形状，因此降低镀膜成本、镀膜程序简单、容易实现镀膜均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光学镀膜装置，其包括镀膜室、承载架、旋转马达及蒸镀源，其特征在于，该光学镀膜装置进一步包括挡流板，其中，挡流板可旋转地设置在承载架与蒸镀源之间。
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