[实用新型]真空辐射式加热器无效
| 申请号： | 200420051279.8 | 申请日： | 2004-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN2695449Y | 公开（公告）日： | 2005-04-27 |
| 发明（设计）人： | 宋长安;温振超;孙志文;时军朋 | 申请（专利权）人： | 温振超;孙志文;时军朋 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 730000甘肃省*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本实用新型是一种可用于真空蒸发、溅射镀膜的加热器。本实用新型能有效地防止真空蒸发镀膜时被加热粉末状材料的进溅，提高了材料的利用率，且可以在真空溅射的同时对样片进行炭化、退火、氧化等处理，温度可在室温至950℃之间任意调节控制。它由托盘、加热管和盖板三部分组成：托盘呈圆柱形，在其下底中心钻有测温孔，托盘内置加热管，上置盖板；加热管是提供辐射式加热的热源，呈环形，外壳为石英制品，内置钨丝；盖板中心开一圆孔，在蒸发时用来放置源容器，圆孔四周固定四只钢夹，在溅射时用来固定样片。本实用新型能够广泛应用于高真空下蒸发、溅射等薄膜的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 辐射 加热器 | ||
【主权项】：
1.一种真空辐射式加热器，包括托盘、加热管和盖板，其特征在于托盘底面中心钻有测温孔，托盘内置加热管，上置盖板；加热管呈环形，内置钨丝；盖板中心开有圆孔，在圆孔四周固定有四只钢夹。
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