[实用新型]超高真空气体离化装置

摘要

本实用新型公开了一种超高真空气体离化装置。它包括法兰盘(1)上的管状离化器，以及离化电极，特别是管状离化器由气体离化室(6)和密封室(5)构成，气体离化室(6)的一端为喷嘴(7)、另一端与密封室(5)相接，并经伸入其内的凸管(10)与固定架(12)的管状内壁凹台的一端相接，固定架(12)的另一端与法兰盘(1)相接为一体，其端部与进气管(14)连接，密封室(5)的另一端与固定架(12)上的凸圆台间经胶圈(2)、压片(3)和压盖(4)连接，工作电极(8)置于气体离化室(6)中，配合电极(9)环绕于气体离化室(6)之外。它气体离化的纯度和效率均高，对整机的清洗和更换工作电极也方便，可广泛用于各种制膜设备中。

主权项

1、一种超高真空气体离化装置，包括法兰盘(1)上的一端为圆锥喷嘴(7)、另一端带有进气管(14)的管状离化器，以及离化电极，其特征在于所说管状离化器由气体离化室(6)和密封室(5)构成，所说气体离化室(6)的一端为喷嘴(7)、另一端与密封室(5)相接，并经伸入密封室(5)内的凸管(10)与固定架(12)的带有管状内壁凹台的一端相接，固定架(12)的另一端与法兰盘(1)相接为一体，其端部与进气管(14)相连接，所说密封室(5)的另一端与固定架(12)上的凸圆台间经胶圈(2)、压片(3)和压盖(4)相连接，所说离化电极为工作电极(8)和配合电极(9)，所说工作电极(8)的一端穿过所说凸管(10)置于气体离化室(6)中、另一端嵌入所说固定架(12)一端的管状内壁凹台中，所说配合电极(9)环绕于气体离化室(6)之外。