[实用新型]连通式多反应室高温有机金属化学气相淀积装置

摘要

本实用新型涉及化学气相化学淀积或有机金属化学气相淀积装置的改进。该装置包括现有技术中的气路系统、反应室、送样机构、输运管路系统、真空机组、尾气处理和报警系统以及操作控制系统，所述反应室至少有两个，每个反应室分别设有送样机构或共用送样机构，每个反应室分别与气路系统、真空系统连通；反应室与反应室之间由输运管道连通，在该输运管道上设置有能控制开启、关闭的开关阀。其样品加热器采用石墨片的电阻加热方式，并且在加热器及基片托周围设置了热屏蔽罩，大大提高了加热温度。本实用新型的不同反应室内的系统设计可以按独立的MOCVD系统对不同材料的不同要求来设计，克服了同一台MOCVD设备只能用来生长同一种系列的薄膜材料的缺陷，拓展了MOCVD设备的使用功能。

主权项

1.连通式多反应室高温有机金属化学气相淀积装置，包括现有技术中的气路系统、反应室、送样机构、输运管路系统、真空机组、尾气处理和报警系统以及操作控制系统，所述反应室内设置有样品加热机构，其特征在于，所述反应室至少有两个，每个反应室分别设有送样机构，每个反应室分别与气路系统、真空系统连通；反应室与反应室之间由输运管道连通，在该输运管道上设置有能控制开启、关闭的开关阀。