[实用新型]真空镀膜机的抽气系统无效
| 申请号： | 200420055965.2 | 申请日： | 2004-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN2760048Y | 公开（公告）日： | 2006-02-22 |
| 发明（设计）人： | 范多旺;邓志杰;于正勤;武福;范多进;王汉安;解武波;孔令刚 | 申请（专利权）人： | 兰州大成自动化工程有限公司;兰州交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 兰州中科华西专利代理有限公司 | 代理人： | 王学定 |
| 地址： | 730070甘肃省兰州*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种真空镀膜机的立体抽气系统，该系统利用一个支架将整个系统的结构、管路进行立体式配置，大大缩小了整个排气系统的体积、节约了系统的占地面积，同时缩短了整个系统的管道线路，有效提高了泵的抽速和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 系统 | ||
【主权项】：
1、一种真空镀膜机的立体抽气系统，由滑阀泵(1)经罗茨泵(2)、接予抽阀(3)、扁阀后与真空室相连，排放的气体由滑阀泵(1)和维持泵(4)经过滤罐(5)从排气口(6)排出，其特征在于：所述滑阀泵(1)、罗茨泵(2)及维持泵(4)共用一个过滤罐(5)，且罗茨泵(1)和过滤罐(5)固定设置在支架(7)上；维持泵(4)和滑阀泵(1)设置在支架(7)内。
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