[实用新型]一种薄膜微桥结构无效
| 申请号： | 200420057831.4 | 申请日： | 2004-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN2761576Y | 公开（公告）日： | 2006-03-01 |
| 发明（设计）人： | 黄光;王宏臣;陈四海;何少伟;付小朝;易新建;马宏 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;G01K7/00;G01K7/16 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 | 代理人： | 曹葆青 |
| 地址： | 430074湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种薄膜微桥结构。其桥腿与桥面采用氧化硅和氮化硅复合薄膜制成，均位于同一平面内，桥腿的一端与桥面相连，另一端架在金属桥墩上，桥面由桥腿和桥墩支撑悬浮在衬底上，桥面与衬底之间构成空腔。本实用新型解决了由于桥腿弯曲而导致的应力集中问题；并采用了应力平衡技术，利用二氧化硅薄膜的压应力来平衡氮化硅薄膜的张应力，可以获得具有较低应力的复合薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 结构 | ||
【主权项】：
1、一种薄膜微桥结构，其特征在于：桥腿(2、3)与桥面(1)采用氧化硅和氮化硅复合薄膜制成，均位于同一平面内，桥腿(2、3)的一端与桥面(1)相连，另一端架在金属桥墩(4、5)上，桥面(1)由桥腿(2、3)和桥墩(4、5)支撑悬浮在衬底(7)上，桥面(1)与衬底(7)之间构成空腔(6)。
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