[实用新型]具有双嵌附层的减光型相移光罩无效
| 申请号： | 200420066841.4 | 申请日： | 2004-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN2713515Y | 公开（公告）日： | 2005-07-27 |
| 发明（设计）人： | 林政旻 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄健 |
| 地址： | 台湾省新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种具有双嵌附层的减光型相移光罩，其包括：一透明基底；一透光性嵌附层覆盖于透明基底上；以及一稳定性嵌附层覆盖于透光性嵌附层上，透光性嵌附层与稳定性嵌附层构成一双嵌附层，其中稳定性嵌附层的化学稳定性比透光性嵌附层佳，双嵌附层的整体透射率(transmittance；T％)大体为8－15％。透光嵌附层与稳定性嵌附层可由铝硅氮化合物所构成，其化学通式分别为：AlSix1Ny1与AlSix2Ny2。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 双嵌附层 减光型 相移 | ||
【主权项】：
1.一种具有双嵌附层的减光型相移光罩，其特征在于，其结构包括：一透明基底；一透光性嵌附层，覆盖于该透明基底上；以及一稳定性嵌附层，覆盖于该透光性嵌附层上，该透光性嵌附层与该稳定性嵌附层构成一双嵌附层，其中所述稳定性嵌附层的化学稳定性比透光性嵌附层佳，所述双嵌附层的整体透射率为8-15％。
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