[实用新型]双室真空镀膜机无效
| 申请号： | 200420068899.2 | 申请日： | 2004-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN2734773Y | 公开（公告）日： | 2005-10-19 |
| 发明（设计）人： | 黄国兴 | 申请（专利权）人： | 黄国兴 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/35 |
| 代理公司： | 湘潭市汇智专利事务所 | 代理人： | 魏娟 |
| 地址： | 411100湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于装饰镀的真空镀膜机，它主要由两个真空室，采用粗、精抽分离的双路排气系统对两个真中室交替排气组成，它占地面积小，设备成本及电力配备比现有的镀膜机下降，且产量由传统的24－30轴/小时提高到60轴/小时。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 | ||
【主权项】：
1、一种用于装饰镀的双室真空镀膜机，包括真中室和排气系统，其特征是：装有工件架[12]及蒸发电极或磁控溅射源[13]的真空室[11]有两个，且排气系统采用粗、精抽分离的双路排气系统[15][14]分别连通两个真空室[11]对其交替排气交替蒸镀或溅射镀；交替放气和装卸工件架。
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