[实用新型]真空镀膜机用多路阀无效
| 申请号： | 200420068901.6 | 申请日： | 2004-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN2734776Y | 公开（公告）日： | 2005-10-19 |
| 发明（设计）人： | 黄国兴 | 申请（专利权）人： | 黄国兴 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24;C23C14/35 |
| 代理公司： | 湘潭市汇智专利事务所 | 代理人： | 魏娟 |
| 地址： | 411100湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种双室真空镀膜机用多路阀。目前，真空镀膜多采用由一个扩散泵和一个三通歧管相连接，然后由两个高真空阀分别接到歧管法兰上，再由两个高真空阀分别接到两个真空室上，这个结构要有三个部件才能完成，常常使两个真空室分开得较远。本实用新型的阀体分为两层，一层为二个独立的高真空阀室，另一层为一三通歧管。把双真空室与精抽泵、粗抽泵之间实现了完整的连接，替代了过去常用的一个三通歧管和两个高真空阀的组合，使得双室镀膜机结构更紧凑，成本更低。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 机用多路阀 | ||
【主权项】：
1、一种真空镀膜机用多路阀，其特征是：阀体内有隔板(8)，把阀体(9)分为两层，一层再分为二个独立的高真空阀室(3、6)，每个高真空阀室(3、6)上都有两个口，一个连真空室(3、6)，另一个连粗抽阀(2、7)，另一层为一三通歧管，一通用于与高真空泵(10)相连，其余二通分别连高真空阀室(3、6)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于黄国兴，未经黄国兴许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200420068901.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：滑块往复式对靶溅射加热传动装置
- 下一篇：一种专用冲压模具
- 同类专利
- 专利分类
