[实用新型]一种金刚石膜高速精密抛光装置

摘要

一种金刚石膜高速精密抛光装置，包括床身、抛光盘驱动装置、金刚石膜驱动装置、真空抛光室外罩和加热器，抛光盘驱动装置设置在真空抛光室外罩内，并都固定在床身上，金刚石膜驱动装置固定在真空抛光室外罩的上面，加热器设置在上支架的上面，金刚石膜装卡在抛光头上，采用抛光盘与金刚石膜的高速相对运动产生摩擦热和抛光盘底面低温加热，使金刚石膜抛光表面温度迅速达到扩散温度，金刚石膜表面的凸点碳原子向由铁、镍等金属制成的抛光盘扩散磨损，从而达到抛光目的，本实用新型具有结构简单、抛光质量好、抛光效率高、生产成本低等优点，解决了热铁板抛光因加热温度及温度分布梯度过大而造成的抛光盘翘曲变形大，抛光平面度差等问题。

主权项

1、一种金刚石膜高速精密抛光装置，包括床身、抛光盘驱动装置、金刚石膜驱动装置、真空抛光室外罩和加热器，真空抛光室外罩上设置有真空接头和冷却管，还有活性气体进气管和带有加热丝连接支架，抛光盘驱动装置设置在真空抛光室外罩内，并都分别固定在床身上，抛光盘固定在抛光主轴上，抛光主轴通过轴承设置在支承体内，支承体通过法兰盘和固定盘固定在支座内，调速电机装在固定盘上，并与抛光主轴连接；其特征是，加热器设置在上支架与抛光盘之间，金刚石膜驱动装置设置在真空抛光室外罩上面，所述金刚石膜驱动装置包括抛光头、抛光头轴、驱动轴和电机，抛光头固定在抛光头轴上，抛光头轴通过套设置在驱动轴内，并通过调整螺钉固定，抛光头轴的上端设置有弹簧，驱动轴通过轴承设置在支承套内，支承套通过上下端盖固定在真空抛光室外罩上，上下端盖分别通过螺钉固定在真空抛光室外罩的上下端面上，电机固定在上端盖上，并通过传动键与驱动轴连接。