[实用新型]单酸微量添加装置无效
| 申请号： | 200420071682.7 | 申请日： | 2004-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN2769950Y | 公开（公告）日： | 2006-04-05 |
| 发明（设计）人： | 黄昌桂;黄荣龙;欧振宪;高胜洲 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;群创光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/136 | 分类号： | G02F1/136;G02F1/133;H01L21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开一种单酸微量添加装置，其包括一蚀刻单元与一监测添加单元；该蚀刻单元与监测添加单元连接构成微量添加控制回路。可以有效地解决湿蚀刻机中单酸浓度不稳定，金属蚀刻率变化及换酸周期短等问题，应用于在薄膜晶体管液晶显示器的前段制程对金属的蚀刻过程中。 | ||
| 搜索关键词： | 微量 添加 装置 | ||
【主权项】：
1.一种单酸微量添加装置，包括一蚀刻单元与一监测添加单元，其特征在于：该蚀刻单元与监测添加单元连接构成微量添加控制回路。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;群创光电股份有限公司，未经鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;群创光电股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200420071682.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：具有行走装置的自行车训练器
- 下一篇：可折合双手柄真空壶
