[实用新型]一种化学气相共沉积与渗透尾气处理装置

摘要

本实用新型属于复合材料制造设备领域，涉及对化学气相共沉积与渗透设备使用的尾气处理装置的改进。本实用新型的特征在于，通过管路依次将水冷过滤器、冷冻过滤器、复合过滤器、真空泵、碱液过滤器和放空燃烧结构串联为四级尾气处理装置，本实用新型结构简单；操作方便；尾气处理能力强；可同时或单独对化学气相沉积与渗透工艺的尾气煤焦油和氯化氢进行处理。

主权项

1、一种化学气相共沉积与渗透尾气处理装置，包括一个水冷过滤器、一个冷冻过滤器、一个复合过滤器、真空泵、一个碱液过滤器和放空燃烧机构，其特征在于，通过管路依次将水冷过滤器、冷冻过滤器、复合过滤器、真空泵、碱液过滤器和放空燃烧结构串联为四级尾气处理装置，水冷过滤器的尾气入口[1]与化学气相共沉积与渗透设备的尾气排放端口连通，水冷过滤器的尾气出口通过管路与冷冻过滤器的入口连通，冷冻过滤器的出口通过管路与复合过滤器的入口连通，复合过滤器的出口通过管路与真空泵的入口连通，真空泵的出口通过管路与碱液过滤器的入口连通，碱液过滤器的出口通过管路与放空燃烧机构连通。