[实用新型]太阳选择性吸收涂层连续镀膜装置

摘要

本实用新型涉及一种太阳选择性吸收涂层连续镀膜装置，属于太阳能热利用技术领域。本实用新型包括镀膜室、靶、工件架、进气管、传动机构、真空机组和控制器，其中靶、工件架、传动机构和进气管位于溅射室内，其特征在于还包括工件架轨道，镀膜室是连续镀膜室，依次由进口锁室、溅射室、出口锁室构成，在其进口、出口处及其所含各室之间均装有真空锁，每个室都装有相应的真空机组，每个室内装有进气管。本实用新型的优点是：溅射室溅射环境气氛的重复性和稳定性容易保持，镀膜质量容易保证，而且效率高，同样的生产规模，可以减少设备，节省人力，使产品的一致性好。

主权项

1、一种太阳选择性吸收涂层连续镀膜装置，包括镀膜室、靶、工件架、进气管、传动机构、真空机组和控制器，其中靶、工件架、传动机构和进气管位于溅射室内，其特征在于还包括工件架轨道，所说的镀膜室是连续镀膜室，依次由进口锁室、溅射室、出口锁室构成，在其进口、出口处及其所含各室之间均装有真空锁，每个室都装有相应的真空机组，每个室内装有进气管；所说的传动机构是齿轮传动机构，由电机、传动轴和齿轮组成，齿轮固定在传动轴上并随传动轴自转，均匀分布在每个室内，在溅射室内装有一个或一个以上溅射靶，溅射室内还装有固定齿条；所说的工件架轨道在连续镀膜室外，由单向传动机构构成，从出口锁室外开始到进口锁室外终止，与连续镀膜室构成闭环；所说的工件架是活动工件架，由架体和工件支架组成，其架体底部与连续镀膜室内的齿轮传动机构啮合，在连续镀膜室内和工件架轨道上作连续运动，两列工件支架在架体两侧均匀排列，每个工件支架底部都装有小齿轮，与溅射室内的固定齿条啮合，完成工件的自转运动；所说的控制器分别控制工件架轨道、真空机组和连续镀膜室中各个室的传动机构的启、停及进气管的通、断和真空锁的开、关。