[实用新型]高效大功率多波长隧道级联多有源区垂直腔面发射激光器无效
| 申请号： | 200420077931.3 | 申请日： | 2004-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN2738434Y | 公开（公告）日： | 2005-11-02 |
| 发明（设计）人： | 沈光地;郭霞;邓军;邹德恕;董立闽;韩军 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 | 代理人： | 魏聿珠 |
| 地址： | 100022*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 高效大功率多波长隧道级联多有源区垂直腔面发射激光器，属半导体光电子领域，如图所示，包括有上分布布拉格反射镜(1)，下分布布拉格反射镜(6)，衬底(7)，特征在于还包括在上、下分布布拉格反射镜(1)和(6)之间的N个重复排列的有源区部分(8)和N－1个反向隧道结(5)的重复结构构成大有源区部分(10)，其中N是传统的有源区部分(8)的在本实用新型的垂直腔面发射激光器的数目，其中有源区部分(8)p型限制层(2)、增益区(3)、n型限制层(4)构成。解决了统垂直腔面发射激光器材料生长和器件制备的工艺难度，成本高，成品率低，且随有源区体积减小，效率下降，以及激射波长为单一波长，无法在同一只器件中获得多个波长。 | ||
| 搜索关键词： | 高效 大功率 波长 隧道 级联 有源 垂直 发射 激光器 | ||
【主权项】：
1、高效大功率多波长隧道级联多有源区垂直腔面发射激光器，包括有依次纵向层叠的上分布布拉格反射镜(1)，下分布布拉格反射镜(6)，衬底(7)，其特征在于，还包括在上分布布拉格反射镜(1)和下分布布拉格反射镜(6)之间的N个依次顺序重复排列的有源区部分(8)和N-1个反向隧道结(5)的重复结构构成大有源区部分(10)，其中N是传统的有源区部分(8)的在本发明的垂直腔面发射激光器的数目，其中有源区部分(8)按公知技术由上而下依次排列的p型限制层(2)、增益区(3)、n型限制层(4)构成。
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