[实用新型]基于微机械加工的风速传感器无效
| 申请号： | 200420080212.7 | 申请日： | 2004-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN2750321Y | 公开（公告）日： | 2006-01-04 |
| 发明（设计）人： | 高冬晖;秦明;黄庆安 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P5/12 | 分类号： | G01P5/12 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 叶连生 |
| 地址： | 21009*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 基于微机械加工的风速传感器是一种采用体硅电阻作为测温单元，采用硅衬底传热的风速传感器，传感器的整个结构集成在硅衬底上，中心部分由四个长方形的加热条组成一个正方形，在每个加热条外对称分布有体硅测温电阻，在体硅测温电阻与加热条之间设有内ICP槽，在体硅测温电阻的外侧设有外ICP槽，体硅测温电阻通过两端很窄的窄硅与整个硅衬底连接；加热条与体硅测温电阻之间的内ICP槽作为热隔离。在硅衬底的上表面设有一层氧化层，在氧化层的上表面设有一层低温二氧化硅；在外ICP槽外的氧化层上设有多晶硅；体硅测温电阻的上面是磷注入，在磷注入的上面是金属铝；加热条的上面是硼注入，在硼注入的上面是金属铝。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 微机 加工 风速 传感器 | ||
【主权项】：
1、一种基于微机械加工的风速传感器，其特征在于传感器的整个结构集成在硅衬底(5)上，中心部分由四个长方形的加热条(2)组成一个正方形，在每个加热条(2)外对称分布有体硅测温电阻(1)，在体硅测温电阻(1)与加热条(2)之间设有内ICP槽(31)，在体硅测温电阻(1)的外侧设有外ICP槽(32)，体硅测温电阻(1)通过两端很窄的窄硅(4)与整个硅衬底(5)连接；加热条(2)与体硅测温电阻(1)之间的内ICP槽(31)作为热隔离。
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