[实用新型]测热型和风速计一体化流速传感器

摘要

本实用新型公开了一种测热型和风速计一体化流速传感器。在沟槽封装层自下而上依次装有腐蚀形成横截面为梯形沟槽的硅衬底、横膈膜、一组电阻相同的复合金属丝阵列、盖在复合金属丝阵列上的金属丝封装层，复合金属丝阵列以中心一条加热丝为轴对称平行排列N对金属丝；在横膈膜左右两侧有与金属丝相同条数并与金属丝两端相连的芯片电节点。本实用新型将风速计和测热型探头集成为一排镍/铬复合金属丝阵列，探测一维流动的流速和流向，实现低流速的精密测量和较大的动态测量范围。该传感器具有体积小，成本低，能耗低等特点。该传感器既可用作探头式传感器进行常规管道的流量计量，又可作为管路式传感器测量微流控系统中微小管道的流量，扩大了传感器的应用范围。

主权项

1.一种测热型和风速计一体化流速传感器，其特征在于包括：沟槽封装层(6)自下而上依次装有腐蚀形成横截面为梯形沟槽(5)的硅衬底(4)、横膈膜(3)、一组电阻相同的复合金属丝阵列(2)、盖在复合金属丝阵列(2)上的金属丝封装层(1)，复合金属丝阵列(2)以中心一条加热丝为轴对称平行排列N对金属丝；在横膈膜(3)左右两侧有与金属丝相同条数并与金属丝两端相连的芯片电节点(7)。