[实用新型]用于制作倾斜反射突块的光罩无效
| 申请号： | 200420082912.X | 申请日： | 2004-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN2727780Y | 公开（公告）日： | 2005-09-21 |
| 发明（设计）人： | 赖建延;彭家鹏;陈永昌 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;群创光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/133 | 分类号： | G02F1/133;G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种用于制作倾斜反射突块的光罩。该光罩包括多个由透光部分与遮光部分并接而成的图案，该透光部分或遮光部分是一块状区域，该块状区域一侧边在光罩平面方向上具有多个突起。采用该光罩所制得的反射突块平滑度较高，光学性能较好。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制作 倾斜 反射 | ||
【主权项】：
1.一种用于制作倾斜反射突块的光罩，其包括多个由透光部分与遮光部分并接而成的图案，该透光部分或遮光部分是一块状区域，其特征在于：该块状区域一侧边在光罩平面方向上具有多个突起。
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