[实用新型]高效式真空镀膜旋转支架无效
| 申请号： | 200420084088.1 | 申请日： | 2004-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN2716283Y | 公开（公告）日： | 2005-08-10 |
| 发明（设计）人： | 范维海 | 申请（专利权）人： | 范维海 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京国林贸知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李桂玲 |
| 地址： | 271000*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种高效式真空镀膜旋转支架，有一个固定盘式底座，该盘式底座上设置有一个内齿圈、一个三联驱动轮组、一个铝靶安装架；该底座上面通过支撑轴承安装有一个环形旋转主架，该旋转主架上设置一个转动内齿圈和多个旋转子架安装座；该旋转子架安装座上设有由双联行星齿轮组、镀件驱动齿轮、镀件安装架构成的旋转子架；所述双联行星齿轮组的上行星齿轮与环绕其周的多个所述镀件驱动齿轮啮合，其底部的下行星齿轮与所述盘式底座上的内齿圈啮合；所述三联驱动轮组的顶部齿轮与所述转动内齿圈啮合，其下部的动力输入皮带轮与主动皮带轮皮带连接，其底部的动力输出皮带轮与所述铝靶安装架上的从动皮带轮皮带连接。 | ||
| 搜索关键词： | 高效 真空镀膜 旋转 支架 | ||
【主权项】：
1、一种高效式真空镀膜旋转支架，有一个固定盘式底座(8)，其特征在于：所述盘式底座上设置有一个内齿圈(81)、一个三联驱动轮组(4)、一个铝靶安装架(6)；该底座上面通过支撑轴承安装有一个环形旋转主架(5)，该旋转主架上设置一个转动内齿圈(52)和多个旋转子架安装座(51)；该旋转子架安装座上设有由双联行星齿轮组(3)、镀件驱动齿轮(1)、镀件安装架(2)构成的旋转子架；所述双联行星齿轮组的上行星齿轮与环绕其周的多个所述镀件驱动齿轮啮合，其底部的下行星齿轮与所述盘式底座上的内齿圈啮合；所述三联驱动轮组的顶部齿轮(41)与所述转动内齿圈啮合，其下部的动力输入皮带轮(42)与主动皮带轮皮带连接，其底部的动力输出皮带轮(43)与所述铝靶安装架上的从动皮带轮(62)皮带连接。
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