[实用新型]快速排水清洗槽无效
| 申请号： | 200420084596.X | 申请日： | 2004-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN2741679Y | 公开（公告）日： | 2005-11-23 |
| 发明（设计）人： | 许国堂;潘逸平;杨仁渊;张日宝;俞台勇 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B13/00;H01L21/302 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种快速排水清洗槽，至少包含槽体与一个导流板。其中，此槽体的底部至少包括一个排水孔，且导流板固定在排水孔上方的槽体内。此导流板可用以将槽体内的流场从大喷流转变成小喷流，而消除晶圆粘贴效应。 | ||
| 搜索关键词： | 快速 排水 清洗 | ||
【主权项】：
1.一种快速排水清洗槽，其特征在于至少包含：槽体，其中该槽体至少包括一个位于该槽体底部排水孔；以及一个使该槽体的排出喷流场转变成均匀流场的导流板，其被固定在该排水孔上方的该槽体上。
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