[实用新型]晶圆生产设备的储存/备份装置

摘要

本实用新型为一种晶圆生产设备的储存/备份装置，主要包括架体，设于该晶圆生产设备的机台中且并与该设备的控制系统连接，于该架体上设有虚拟模组、读写模组、工作硬盘及备份硬盘，该虚拟模组可提供该控制系统所需的辨识资料，以使该控制系统可透过该虚拟模组而读写该工作硬盘及备份硬盘，该读写模组供控制及监督该工作硬盘及备份硬盘的读写工作而该工作硬盘及备份硬盘以便于插拔连接的方式设于该架体上，如此控制系统于便可透过虚拟模组及读写模组读取工作硬盘的资料，及将资料同时写入工作硬盘及备份硬盘中，而当工作硬盘读取失败时，便会直接读取备份硬盘，且并将警示讯号传送至控制系统，由此以达到降低成本及减少资料遗失的风险等目的。

主权项

1、一种晶圆生产设备的储存/备份装置，其特征在于，该晶圆生产设备的机台中设有一控制系统及一容置空间，而该储存/备份装置包括：一架体，固设于该容置空间中，且于该架体上设有两滑槽，可分别供一工作硬盘盒及一备份硬盒插设，其中该工作作硬盘盆中有一工作硬盘，而该备份硬盘盒中则设有一备份硬盘；一虚拟模组，设于该架体上且可提供该控制系统所需的辨识资料；一读写模组，与该虚拟模组连通，且并可控制及监督该工作硬盘及备份硬盘的读写工作。