[实用新型]水吸收型废气处理装置无效

专利信息
申请号: 200420087579.1 申请日: 2004-09-02
公开(公告)号: CN2721214Y 公开(公告)日: 2005-08-31
发明(设计)人: 陈洪波 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第二十四研究所
主分类号: B01D53/78 分类号: B01D53/78;B01D53/18
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 400060重*** 国省代码: 重庆;50
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摘要: 实用新型涉及一种水吸收型废气处理装置,包括有一级吸收处理室和与一级吸收处理室顶端呈可分离装联的二级吸收处理室,一级吸收处理室内腔中部的喷淋柱上从上到下装设有半圆锥弧形襟板,使该内腔形成气体上升的盘旋通道,襟板下端与一级吸收处理室的柱壳内壁间工作时形成水封,该柱壳的下部设计有进气口、排渣口,装有排水管,二级吸收处理室的柱壳下部内装有孔板,顶端上装有可分离的盖板,紧靠盖板下面装有环形喷淋管,内腔中装有多孔填料和电动搅动机构,盖板上设计有出气口。因此,该装置可使水吸收型废气被水充分吸收,处理十分理想,可广泛用于水吸收型废气的吸收处理,特别适于对半导体外延工艺中产生的尾气的吸收处理。
搜索关键词: 吸收 废气 处理 装置
【主权项】:
1、一种水吸收型废气处理装置,其特征在于:包括有一级吸收处理室和与一级吸收处理室顶端呈可分离装联的二级吸收处理室,一级吸收处理室内腔中部的喷淋柱(18)上从上到下装设有半圆锥弧形襟板(19),使该内腔形成气体上升的盘旋通道,襟板(19)下端与一级吸收处理室的柱壳(20)内壁间工作时形成水封,该柱壳(20)的下部设计有进气口(21)、排渣口(23),装有排水管(22),二级吸收处理室的柱壳(7)的下部内装有孔板(13),顶端上装有可分离的盖板(6),紧靠盖板(6)下面装有环形喷淋管(8),内腔中装有多孔填料(11)和电动搅动机构,盖板(6)上设计有出气口(5)。
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