[实用新型]显微摄影即时定位测试结构无效

专利信息
申请号: 200420088008.X 申请日: 2004-08-18
公开(公告)号: CN2784903Y 公开(公告)日: 2006-05-31
发明(设计)人: 卢彦豪 申请(专利权)人: 卢彦豪
主分类号: G01M11/00 分类号: G01M11/00;G01B9/00
代理公司: 北京慧泉知识产权代理有限公司 代理人: 唐爱华;王志敏
地址: 台湾省台中*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种显微摄影即时定位测试结构,它包含一光特性分析模组,其下方设一分析模组固定座,及相邻处设CCD(影像感知原件)摄影机,其系含有一显微镜头、镜头固定座、CCD焦距微调座、CCD角度固定件,而其下方则设有CCDx-y微调座,及一CCD固定基座,而另一相对应处,设一CCD摄影机光源,并含有一光远固定座第一件、第二件及第三件,藉此,组装成整组系统结构,并设于检测机本体上,可供测试LED、LCD及其他晶圆之使用。组装紧凑,操作使用方便,测试的精确度高。
搜索关键词: 显微 摄影 即时 定位 测试 结构
【主权项】:
1、一种显微摄影即时定位测试结构,其特征在于:它包含一光特性分析模组,其下方设一分析模组固定座及相邻处设CCD摄影机,其含有一显微镜头、镜头固定座、CCD摄影机焦距微调座、CCD摄影机角度固定件,而其下方则设有CCDx-y微调座及一CCD摄影机固定基座,而另一相对应处,设一CCD摄影机光源,并含有一光源固定座第一件、第二件及第三件,组装成整组系统结构后设于检测机本体上。
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