[实用新型]双频激光干涉仪无效
| 申请号： | 200420090576.3 | 申请日： | 2004-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN2727698Y | 公开（公告）日： | 2005-09-21 |
| 发明（设计）人： | 程兆谷;高海军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种双频激光干涉仪，包括一双频激光器，在该激光器的输出光路上设置一偏振分光镜，该偏振分光镜的分光面与激光器的输出光路成45°，在该偏振分光镜反射光方向放置一固定角锥棱镜，透射方向是一移动角锥棱镜，在该偏振分光镜的输出光方向、双频激光器的同侧还有一探测器，其特征是在所述的偏振分光镜和探测器设有一反射镜，在双频激光器和偏振分光镜之间的光路上成45°放置一光束转换器和反射镜。本实用新型在相同测试条件下，与现有双频激光干涉仪相比，测试精度提高了一倍。该实用新型的测试方法具有简便、经济、精度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 双频 激光 干涉仪 | ||
【主权项】：
1、一种双频激光干涉仪，包括一双频激光器(4)，在该激光器(4)的输出光路上设置一偏振分光镜(2)，该偏振分光镜(2)的分光面与激光器(4)的输出光路成45°，在该偏振分光镜(2)反射光方向放置一固定角锥棱镜(5)，透射方向是一移动角锥棱镜(1)，在该偏振分光镜(2)的输出光方向、双频激光器(4)的同侧还有一探测器(3)，其特征是在所述的偏振分光镜(2)和探测器(3)之间设有一反射镜(6)，在双频激光器(4)和偏振分光镜(2)之间的光路上成45°放置一光束转换器(8)和反射镜(7)。
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