[实用新型]用于化学机械抛光装置中运载头上的固定环无效
| 申请号： | 200420092531.X | 申请日： | 2004-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN2780407Y | 公开（公告）日： | 2006-05-17 |
| 发明（设计）人： | T·J·多诺霍 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;H01L21/302 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于化学机械抛光装置中运载头上的固定环，此固定环具有下表面，内表面和外表面，并且在下表面上有多个凹槽。每个凹槽可包括内拖曳表面和浆料捕集区域。通道连接浆料捕集区域和内表面。内拖曳表面可被构造用于将嵌入工具固定在其上，此嵌入工具有接触边，此接触边用于摩擦性地接触抛光垫。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 化学 机械抛光 装置 运载 固定 | ||
【主权项】：
1.一种用于化学机械抛光装置中运载头上的固定环，其特征在于所述固定环包括：环形圈，所述环形圈具有下表面，内表面和外表面；和多个凹槽，所述凹槽位于所述下表面上，每个凹槽包括：内拖曳表面，浆料捕集区域和通道，所述通道用于连接所述浆料捕集区域到所述内表面。
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