[实用新型]竖直式离子注入碳化硅高温退火装置

摘要

本实用新型是一种竖直式离子注入碳化硅高温退火装置。该装置的石英管退火室竖直设置，两端由水冷法兰盘封闭；法兰盘上端有退火室的进样门，进样门中心有一个小孔，是退火时保护气体的入口，进样门与法兰盘之间用密封圈密封连接；法兰盘下端中心设有一竖直的管道，管道的外端是观察窗，管道的前侧水平设有放气阀门，后侧水平设有抽气口；退火室的外周圆表面中部，绕设有感应加热线圈，退火室的内腔中，与感应加热线圈相对的位置设有感应加热体，感应加热体与下端法兰盘之间有支撑架。本实用新型可满足各种高温、大功率、高频碳化硅器件的制作，也适用于其它半导体的退火激活工艺，其灵活、压力调节范围宽、易于控制，有较高的退火温度。

主权项

1.一种竖直式离子注入碳化硅高温退火装置，由退火室、法兰盘、退火室进样门、放气阀门、抽气口、支撑架、观察窗、感应加热线圈和感应加热体组成；其特征在于：其中，石英管退火室竖直设置，上下两端由法兰盘封闭，法兰盘上固设有支架，支架将退火室竖直固置；石英管退火室和法兰盘之间采用“O”型密封圈密封；上端法兰盘上设有退火室的进样门，进样门中心有一个小孔，与保护气体的储罐出口相通，进样门与法兰盘之间用“O”型密封圈密封连接；下端法兰盘中心设有一竖直的管道，管道的下端是观察窗，管道的前侧水平设有充气阀门，后侧水平设有抽气口；石英管退火室的外周圆表面中部，绕设有感应加热线圈，退火室的内腔中，与感应加热线圈相对的位置设有感应加热体，感应加热体与退火室下端法兰盘之间有一支撑架。