[实用新型]水平式离子注入碳化硅高温退火装置

摘要

本发明一种水平式离子注入碳化硅高温退火装置。该装置的石英管退火室水平设置，两端由水冷法兰盘封闭；水冷法兰盘一端上设有退火室的进样门，进样门中心有一个小孔，是退火时保护气体的入口，进样门与法兰盘之间用型密封圈密封连接；水冷法兰盘另一端中心设有一水平的管道，管道的外端是观察窗，管道的上侧垂直设有放气阀门，下侧垂直设有抽气口；石英管退火室的外周圆表面中部，绕设有螺旋管感应加热线圈，退火室的内腔中，与螺旋管感应加热线圈相对的位置设有感应加热体。本发明可满足各种高温、大功率、高频碳化硅器件的制作，也适用于其它半导体的退火激活工艺，其灵活、压力调节范围宽、易于控制，有较高的退火温度。

主权项

1.一种水平式离子注入碳化硅高温退火装置，由退火室、法兰盘、退火室进样门、放气阀门、抽气口、观察窗、感应加热线圈和感应加热体组成，其特征是：其中，石英管退火室水平设置，两端由法兰盘封闭，法兰盘上固设有支架，支架将退火室水平固置；退火室和法兰盘之间采用“O”型密封圈密封；法兰盘一端上设有退火室的进样门，进样门中心有一个小孔，与保护气体的储罐出口相通，进样门与法兰盘之间用“O”型密封圈密封连接；法兰盘另一端中心设有一水平的管道，管道的外端是观察窗，管道的上侧垂直设有放气阀门，下侧垂直设有抽气口；石英管退火室的外周圆表面中部，绕设有感应加热线圈，退火室的内腔中，与感应加热线圈相对的位置设有感应加热体。